Deformarea structurilor planare de tip TCO/Si sub acţiunea sarcinii concentrate (2011)

1.ASPECTE GENERALE ALE LEGITĂŢILOR DEFORMAŢIEI A STRUCTURILOR STRAT/SUBSTRAT LA APLICAREA SARCINII CONCENTRATE (SINTEZA BIBLIOGRAFICĂ)

• 1.1. Proprietăţile mecanice ale structurilor de tip strat/substrat, metode de determinare
• 1.2. Efectul de scară (ISE)
• 1.3. Duritatea complexă
• 1.4. Proprietăţile mecanice ale structurilor ITO/substrat, SnO2/substrat
• 1.5. Proprietăţile mecanice ale substratului de siliciu

2. PARTICULARITĂŢILE DEFORMĂRII STRUCTURILOR PLANARE DE TIP ITO/Si ŞI SnO2/Si LA MICRO-NANOPENETRARE

• 2.1. Compoziţia chimică şi morfologia straturilor de ITO şi SnO2
• 2.2. Deformarea structurilor ITO/Si şi SnO2/Si la acţiunea sarcinii concentrate
• 2.3. Duritatea şi modulul Young a structurilor ITO/Si şi SnO2/Si în dependenţă de sarcina aplicată (metoda dinamică). Adeziunea
• 2.4. Duritatea structurilor SnO2/Si şi ITO/Si (metoda cuasistatică )
• 2.5. Duritatea peliculelor SnO2 şi ITO. Modelul Jonsson-Hogmark

3. INTERCONEXIUNEA ÎNTRE PROPRIETĂŢILE STRUCTURALE, ELASTO-PLASTICE ŞI PIEZOREZISTIVE ALE STRUCTURILOR TCO/SI LA APLICAREA SARCINII LOCALE

• 3.1. Efectul pop-out în structurile ITO/Si şi SnO2/Si
• 3.2. Variaţia rezistenţei electrice a substratului de n-Si supus acţiunii sarcinii concentrate
• 3.3. Variaţia rezistenţei electrice a Si cauzată de efectul pop-out

4. MICRORELIEF PRODUS PRIN TRATAMENT CHIMIC. LEGITĂŢILE DEFORMĂRII SILICIULUI ŞI STRUCTURILOR ITO/Si, SnO2/Si LA INDENTARE

• 4.1. Tratamentul chimic
• 4.2. Legităţile deformării substratului
• 4.3. Solubilitatea anomală a peliculelor de ITO supuse acţiunii sarcinii concentrate
• 4.4. Rozete dislocaţionale
• 4.5. Mecanismul de interacţiune între peliculă şi substrat la acţiunea sarcinii concentrate
• 4.6. Microstructuri produse prin tratament chimic pe Si activat mecanic

CONCLUZII GENERALE ŞI RECOMANDĂRI